光学精密工程
 
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光学精密工程  2018, Vol. 26 Issue (11): 2744-2753    DOI: 10.3788/OPE.20182611.2744
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压电执行器动态迟滞建模与LQG最优控制器设计
张泉1,2,3*, 尹达一1,2,3, 张茜丹1,2,3
1. 中国科学院 红外探测与成像技术重点实验室, 上海 200083;
2. 中国科学院大学, 北京 100039;
3. 中国科学院 上海技术物理研究所, 上海 200083
Dynamic hysteresis modeling and LQG optimal controller design of piezoelectric actuators
ZHANG Quan1,2,3*, YIN Da-yi1,2,3, ZHANG Xi-dan1,2,3
1. CAS Key Laboratory of Infrared System Detection and Imaging Technology, Shanghai Institute of Technical Physics, Shanghai, 200083;
2. University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100039, China;
3. Shanghai Institute of Technical Physics of the Chinese Academy of Sciences, Shanghai 200083, China

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