光学精密工程
 
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光学精密工程  2018, Vol. 26 Issue (10): 2516-2526    DOI: 10.3788/OPE.20182610.2516
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球面上微透镜阵列超精密慢伺服加工精度影响因素的研究
孙豪, 起建立, 林泽钦, 王素娟*, 颜志涛
广东工业大学 机电工程学院 广东省微纳加工技术与装备重点实验室, 广东 广州 510006
Factors affecting the machining precision of a micro-lens array on a spherical surface in slow tool servo machining
SUN Hao, QI Jian-li, LIN Ze-qin, WANG Su-juan*, YAN Zhi-tao
Guangdong Provincial Key Laboratory of Micro-Nano Manufacturing technology and Equipment, School of Electromechanical Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou 510006, China

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