光学精密工程
 
     首 页 |  期刊介绍  |  编委会  |  投稿指南  |  期刊订阅  |  联系我们  |  留言板 |  English
光学精密工程  2018, Vol. 26 Issue (10): 2395-2406    DOI: 10.3788/OPE.20182610.2395
现代应用光学 最新目录| 下期目录| 过刊浏览| 高级检索 |
极紫外宽带多层膜反射镜离散化膜系的设计与制备
匡尚奇1*, 李硕1, 杨海贵2, 霍同林3, 周洪军3
1. 长春理工大学 理学院, 吉林 长春 130022;
2. 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 光学系统先进制造技术重点实验室, 吉林 长春 130033;
3. 中国科学技术大学 国家同步辐射实验室, 安徽 合肥 230029
Design and fabrication of EUV broadband multilayer mirrors with discrete thicknesses
KUANG Shang-qi1*, LI Shuo1, YANG Hai-gui2, HUO Tong-lin3, ZHOU Hong-jun3
1. School of Science, Changchun University of Science and Technology, Changchun 130022, China;
2. Advanced Manufacturing Technology for Optical Systems Laboratory, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, Changchun 130033, China;
3. National Synchrotron Radiation Laboratory, University of Science and Technology of China, Hefei 230029, China

版权所有 © 2012《光学精密工程》编辑部
地址: 长春市东南湖大路3888号 邮编: 130033 E-mail: gxjmgc@sina.com
本系统由北京玛格泰克科技发展有限公司设计开发