光学精密工程
 
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光学精密工程  2018, Vol. 26 Issue (6): 1314-1321    DOI: 10.3788/OPE.20182606.1314
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弹光调制测椭偏参量的数字锁相数据处理
王爽1,2, 韩燮1, 李晓2,3, 王志斌2*, 景宁2, 陈友华2, 陈媛媛2
1. 中北大学 大数据学院, 山西 太原 030051;
2. 山西省光电信息与仪器工程技术研究中心, 山西 太原 030051;
3. 中北大学 电气与控制工程学院, 山西 太原 030051
Digital phase-locked data processing for ellipsometric parameter measurements based on photoelastic modulation
WANG Shuang1,2, HAN Xie1, LI Xiao2,3, WANG Zhi-bin2*, JING Ning2, CHEN You-hua2, CHEN Yuan-yuan2
1. School of Data Science, North University of China, Taiyuan 030051, China;
2. Engineering and Technology Research Center of Shanxi Province for Opto-electric Information and Instrument, Taiyuan 030051, China;
3. School of Electrical and Control Engineering, North University of China, Taiyuan 030051, China

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