光学精密工程
 
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光学精密工程  2018, Vol. 26 Issue (4): 894-905    DOI: 10.3788/OPE.20182604.0894
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大面积纳米压印光刻晶圆级复合软模具制造
兰红波*, 郭良乐, 许权, 钱垒
青岛理工大学 纳米制造与纳光电子实验室, 山东 青岛 266520
Wafer-level composite mold for large-area nanoimprint lithography
LAN Hong-bo*, GUO Liang-le, XU Quan, QIAN Lei
Nanomanufacturing and Nano-Optoelectronics Lab, Qingdao Technological University, Qingdao 266520, China

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