光学精密工程
 
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光学精密工程  2017, Vol. 25 Issue (11): 2835-2844    DOI: 10.3788/OPE.20172511.2835
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极紫外光刻机多层膜反射镜表面碳污染的清洗
宋源, 卢启鹏*, 龚学鹏, 王依, 彭忠琦
中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室, 吉林 长春 130033
Cleaning of carbon contamination on multilayer optics of EUVL
SONG Yuan, LU Qi-peng*, GONG Xue-peng, WANG Yi, PENG Zhong-qi
State Key Laboratory of Applied Optics, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, Changchun 130033, China

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