光学精密工程
 
     首 页 |  期刊介绍  |  编委会  |  投稿指南  |  期刊订阅  |  联系我们  |  留言板 |  English
光学精密工程 2002, 10(6) 597-601  ISSN: 1004-924X CN: 22-1198/TH

本期目录 | 下期目录 | 过刊浏览 | 高级检索                                                            [打印本页]   [关闭]
论文  
掠出射X射线荧光光谱仪研制
巩岩, 尼启良, 陈波, 曹健林
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 应用光学国家重点实验室, 吉林, 长春, 130022
摘要: 掠出射X射线荧光分析技术是分析薄膜特性和介质表面的一种重要工具.文中简述了利用掠出射X射线荧光技术分析薄膜厚度的原理和方法,介绍了一种在实验室里由激发光源、样品承载系统、色散系统、探测系统和数据收集及处理系统构成的掠出射X射线荧光光谱仪系统,并给出了利用55Fe放射性同位素标定该光谱仪系统的试验结果.
关键词 掠出射X射线荧光   光谱分析   薄膜  
Grazing exit X-ray fluorescence spectrometer
GONG Yan, CHEN Bo, NI Qi-liang, CAO Jian-lin
State Key Lab of Applied Optics, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, Changchun, 130022, China
Abstract: The technology of grazing exit X-ray fluorescence is an important tool for the analysis of thin layer characteristics and media surfaces. The principle of analysis of thin layer thickness by this method is described in this paper. A grazing exit X-ray fluorescent spectrometer has been constructed in our lab, which is composed of an exciting source, a sample stage, a monochromator, and a detecting system, collecting data and compressing units. Meanwhile, the result of calibrating this spectrometer by. 55Fe is presented.
Keywords: grazing exit X-ray fluorescence   spectrum analysis   thin layer  
收稿日期 2002-06-10 修回日期 2002-10-17 网络版发布日期 2002-12-15 
基金项目:

应用光学国家重点实验室基金资助项目(DA00Q02D)

通讯作者:
作者简介:
作者Email:

参考文献:
[1] 巩岩,陈波,尼启良,等.掠出射X射线荧光分析[J].物理,2002,31(3):167-170.
[2] Spiller E. Experience with the in situ monitor system for fabrication of X-ray mirrors[J]. SPIE, 1985,563: 367-375.
[3] Per S, Galnnder B,Nyberg T, et al. Probe depth variation in grazing exit soft-X-ray emission spectroscopy[J]. Nucl. Instr. and Meth. in Phys. Res. 1997,A384:558-562.
[4] Pérez R D, Sánchez H J. New spectrometer for grazing exits X-ray fluorescence[J]. Rev.Sci.Instrum., 1997,68(7): 2681-2684.
[5] Terada S, Murakami H, Nishihagi K.Thickness and composition measurement for thin film with combined X-ray technique[A].1999 IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference[C]. 1999,414-419.
[6] 刘亚雯,肖辉.掠射技术与X射线荧光分析[J].光谱学与光谱分析,1998,18(5): 609-613.
[7] 卢启鹏.高分辨掠入射软X射线-真空紫外单色仪[J].光学精密工程,1998,6(5):91-95.
[8] Claes M,Grieken R V.Comparision of grazing emission XRF with total reflection XRF and other X-ray emission techniques[J].X-ray Spectrom 1997,26:153-158.
[9] 北京大学,复旦大学.核物理实验[M].北京:原子能出版社,1984.
本刊中的类似文章
1.刘华松 王利栓 姜玉刚 季一勤.离子束溅射制备SiO2薄膜折射率与应力调整[J]. 光学精密工程, 2013,21(9): 2238-2243
2.陈剑鸣 吕启蒙 吴光敏 楚合群 John D Mai.分子印迹型薄膜体声波谐振毒品检测传感器[J]. 光学精密工程, 2013,21(9): 2272-2278
3.龙亮 钟少龙 徐静 吴亚明.微型光纤磁传感器的设计与制作[J]. 光学精密工程, 2013,21(9): 2294-2302
4.郑锦华 李聪慧 张冲 晁云峰.不同金属基材上DLC薄膜的摩擦特性[J]. 光学精密工程, 2013,21(6): 1545-1552
5.郭春 李斌成.用模拟退火法确定MgF2薄膜折射率和厚度[J]. 光学精密工程, 2013,21(4): 858-863
6.王加贤 林正怀 张培 吴志军.纳米半导体复合薄膜的非线性光学性质及其在激光器中的应用[J]. 光学精密工程, 2013,21(1): 20-25
7.张鹏, 金光, 张元, 钟兴.静电拉伸薄膜反射镜的多电极成形控制[J]. 光学精密工程, 2012,20(2): 344-351
8.张冬至, 崔天宏.电活性聚合物薄膜柔性结构的动态特性分析与实验[J]. 光学精密工程, 2012,20(12): 2728-2736
9.张立超, 高劲松.长春光机所深紫外光学薄膜技术研究进展[J]. 光学精密工程, 2012,20(11): 2395-2401
10.张健, 林广平, 张睿, 崔国宇, 李传南.准分子激光相位掩模法制备大晶粒尺寸多晶硅薄膜[J]. 光学精密工程, 2012,20(1): 58-63
11.高仁璟, 赵剑, 李雪, 唐祯安.基于槽式悬臂梁结构的微质量传感器设计[J]. 光学精密工程, 2012,20(1): 102-108
12.郭振山, 王世斌, 李林安, 贾海坤, 门玉涛, 何巍.纳米尺度金属薄膜在拉伸状态下的稳定性[J]. 光学精密工程, 2011,19(9): 2293-2299
13.王福吉, 贾振元, 刘巍, 赵显嵩.复合薄膜磁致伸缩系数求解及悬臂梁结构优化[J]. 光学精密工程, 2011,19(8): 1832-1837
14.张鹏, 张元, 金光, 钟兴, 张雷, 姚劲松.应用条纹投影法测量薄膜反射镜的成形[J]. 光学精密工程, 2011,19(6): 1185-1191
15.王志明, 龚振邦, 魏光普.薄膜与小组件太阳电池特性参数测试系统的研制[J]. 光学精密工程, 2011,19(3): 628-634

Copyright by 光学精密工程